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【案例】光纖光源在半導(dǎo)體中的應(yīng)用
2025-03-24
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在半導(dǎo)體檢測領(lǐng)域,燈箱搭配光纖的照明方式具有高均勻、高亮度的特點(diǎn),這種方式易于得到清晰準(zhǔn)確的檢測圖像,從而被行業(yè)廣泛應(yīng)用。


此類設(shè)備的視覺檢測部分,硬件由相機(jī)、鏡頭、光源組合而成。其中鏡頭最復(fù)雜,往往由一套模組搭配而成,鏡頭的倍數(shù)大,精度非常高,且可能搭配棱鏡轉(zhuǎn)向裝置,結(jié)構(gòu)復(fù)雜。經(jīng)過一系列組合,其結(jié)構(gòu)往往存在通光性差的缺點(diǎn),常規(guī)光源亮度難以滿足檢測要求。

為了滿足檢測精度、速度的要求,需要搭配亮度極高的光源。早期常用鹵素?zé)粽彰?,鹵素?zé)袅炼容^高,光譜較全且連續(xù),具有一定的優(yōu)勢。但鹵素?zé)敉瑯哟嬖趬勖?、能耗高、發(fā)熱量大等缺點(diǎn),維護(hù)成本很高,已不能滿足不斷變化的市場與現(xiàn)代節(jié)能環(huán)保的要求。

樂視科技新款LED光纖光源可替代傳統(tǒng)鹵素光源,LED光纖光源壽命長(可達(dá)6萬小時(shí)),亮度可達(dá)2000萬Lx,環(huán)保(符合RoHS標(biāo)準(zhǔn)),均勻性好(無光暈,無亮斑及暗區(qū));是一款品質(zhì)精良的光纖光源,使用壽命為進(jìn)口鹵素?zé)艄庠吹?0倍以上,功耗僅為鹵素光源1/10,可大幅降低了產(chǎn)品的維護(hù)成本。

半導(dǎo)體產(chǎn)品檢測要求各有不同,針對不同產(chǎn)品與檢測特征,經(jīng)常需要替換不同波段光源,或者配多種濾鏡組合使用,過濾掉不需要的特征。然而這種方式過于繁瑣,且更換時(shí)容易觸碰到機(jī)構(gòu)其它部位影響精度。

為滿足多波段檢測要求,我司以單色光纖光源為基礎(chǔ),開發(fā)出可多色切換的光纖光源,即我司的三色光纖光源。只需一臺(tái)即可實(shí)現(xiàn)三色RGB發(fā)光,三色可獨(dú)立發(fā)光或混合發(fā)光,也可自由控制變化各種波段顏色,實(shí)現(xiàn)多光譜檢測。可有效的簡化光源部分結(jié)構(gòu),節(jié)省機(jī)構(gòu)空間。 

以下為我司三色光纖光源使用案例:


案例1:晶圓孔洞毛刺檢測

晶片加工后,表面可能會(huì)存在毛刺與殘?jiān)诒砻嬗绊懞罄m(xù)工藝。檢測此類較小的孔洞,需配合高倍鏡頭才能看到細(xì)小的毛刺,再經(jīng)過棱鏡模組鏡頭后通光會(huì)減弱很多,使用高亮光纖光源配合照射,亮度滿足,毛刺對比明顯。


案例2:晶圓或玻璃電路檢測

此類檢測產(chǎn)品特征非常小,需要鏡頭放大倍數(shù)小視野成像。通常對光源的亮度要求特別高,而傳統(tǒng)點(diǎn)光源亮度不夠,使用LED光纖光源亮度滿足,光斑均勻。


案例3:LED發(fā)光芯片線路檢測

因產(chǎn)品背景有各種色彩,采用單色光源不能滿足產(chǎn)品多樣性檢測;采用三色光纖光源,可根據(jù)產(chǎn)品的變化調(diào)整不同波段顏色的光照射。

光纖光源在半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用廣泛,其亮度高,壽命長,功耗低,大幅降低了產(chǎn)品的維護(hù)成本。三色光纖光源可實(shí)現(xiàn)一個(gè)光源應(yīng)用多種產(chǎn)品,提升產(chǎn)品檢測的兼容性,簡化視覺的硬件部分。我司光纖光源品類齊全,涵蓋365~1550nm波長范圍,歡迎廣大客戶咨詢試樣。

樂視科技自2011年成立以來,一直專注于機(jī)器視覺光源的研發(fā)與制造,現(xiàn)已成為中國產(chǎn)品種類齊全、品質(zhì)優(yōu)秀、性價(jià)比高的機(jī)器視覺光源制造商。我們一直恪守“工匠精神”的經(jīng)營理念,數(shù)十年如一日地專注于機(jī)器視覺光源研發(fā),不斷提高產(chǎn)品的生產(chǎn)效率,為客戶提供有價(jià)值的產(chǎn)品。