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半導(dǎo)體行業(yè)
2024-04-11
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電容表面缺陷檢測(cè)

使用光源:LTS-RNMU75-BGR+FT5050-G

使用多色光不同角度照射,缺陷位置呈現(xiàn)出不同的顏色,對(duì)電容的表缺陷檢測(cè)比較有利,增加底部光源不同顏色突出產(chǎn)品輪廓。



晶圓表面的字符檢測(cè)

使用光源:LTS-3COX13752-W    

晶圓表面比較光滑,平整的晶圓表面激光雕刻字符,使用垂直均勻光同軸光,使字符輪廓清晰,呈現(xiàn)出明顯的對(duì)比度。



晶圓弧邊倒角檢測(cè)

使用光源:LTS-2HSL10542-W 

晶圓邊為圓弧倒角類型,需要高精度測(cè)試其最高點(diǎn)與倒角的夾角,采用平行性強(qiáng)的平行集光源,配合高景深的雙側(cè)遠(yuǎn)心鏡,邊緣清晰。


芯片金線檢測(cè)

使用光源:LTS-3DM116-W

需要檢測(cè)芯片與金線連接是否有斷,金線為圓柱且不在同一高度,采用彩色相機(jī)配合非常均勻的圓頂光源拍攝,成像清晰對(duì)比度好。



CPU底座針腳異色

使用光源:LTS-DM154-W+LTS-COX38-CP-W     

CPU底座針腳是圓弧狀,需要將針腳周圍異色檢測(cè)清楚,不能有金屬反光,使用均勻光圓頂組合高精度同軸,呈現(xiàn)出針腳整體均勻,異色清晰明顯。



磁柱表面缺陷檢測(cè)

使用光源:LTS-COXL100-W 

磁柱表面有凹坑、劃傷、蹦缺等缺陷,使用線陣相機(jī),讓產(chǎn)品轉(zhuǎn)動(dòng)一周,配合同軸線光,能清晰的呈現(xiàn)劃傷,凹坑等缺陷,對(duì)比度明顯,輕微的缺陷都可以很清晰的對(duì)比度。



透明晶片輪廓檢測(cè)

使用光源:LTS-RN9070-W    

透明晶片放在治具內(nèi),需要檢測(cè)出晶片的尺寸,由于晶片透明,很難檢測(cè)出輪廓,使用環(huán)形光加偏振,使輪廓邊緣清晰,突顯出晶片的輪廓。



芯片定位檢測(cè)

使用光源:LTS-COX38-CP-W

芯片非常小,需要在6倍鏡頭下才能看到輕微的輪廓,在高倍鏡頭下普通同軸已經(jīng)滿足不了清晰度了,使用高精度同軸,使芯片輪廓清晰。